[实用新型]真空镀膜机冷冻管装置有效
| 申请号： | 201320531869.X | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203440438U | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 李龙哲;夏伟;刘强;李星;金虎 | 申请（专利权）人： | 上海哈呐机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200540 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空镀膜机冷冻管装置，它涉及真空镀膜机技术领域，真空室腔体的一侧安装有主阀腔体，主阀腔体内分别安装有冷冻线圈、闸阀，冷冻线圈与超级冷冻机连接，主阀腔体分别与初阀、主阀连接，主阀与扩散泵连接，扩散泵与前阀连接；它将冷冻线圈设计安装在主阀前面，有效彻底便捷的达到除霜目的，提高生产效率，除冰后不会污染扩散泵油，这样可以减少DP油的更换次数，节约成本，避免安全事故的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 冷冻 装置 | ||
【主权项】：
真空镀膜机冷冻管装置，它包含真空室腔体(1)、主阀腔体(2)、初阀(3)、主阀(4)、冷冻线圈(5)、前阀(6)、扩散泵(7)、超级冷冻机(8)，其特征在于：它还包含闸阀(9)，真空室腔体(1)的一侧安装有主阀腔体(2)，主阀腔体(2)内分别安装有冷冻线圈(5)、闸阀(9)，冷冻线圈(5)与超级冷冻机(8)连接，主阀腔体(2)分别与初阀(3)、主阀(4)连接，主阀(4)与扩散泵(7)连接，扩散泵(7)与前阀(6)连接。
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