[实用新型]一种多片环形晶舟清洗治具有效
申请号: | 201320532757.6 | 申请日: | 2013-08-29 |
公开(公告)号: | CN203417882U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 秦国强;王杨;赵庆;周诗铎;辛科 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | B08B3/08 | 分类号: | B08B3/08;H01L21/67 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多片环形晶舟清洗治具,它包括上端板承载座、下端板承载座和底板;上端板承载座和下端板承载座固定在底板上,底板上均匀设置有通孔,上端板承载座上设有托台一和侧板一,下端板承载座上设有托台二和侧板二,托台一和托台二均包括一承载面和一连接面,承载面具有一两侧带平表面的圆弧形凹面构型,侧板一与托台一的连接面紧贴,侧板二和托台二的连接面紧贴,侧板一高度高于托台一高度,侧板二高度高于托台二高度;通过在水平清洗槽中装配本实用新型对多片环形晶舟进行水平清洗,大大改善了多片环形晶舟的清洗效果,减少了由于多片环形晶舟清洗问题带来的产品影响,可以满足生产要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 环形 清洗 | ||
【主权项】:
一种多片环形晶舟清洗治具,包括上端板承载座、下端板承载座和底板,其特征在于:所述上端板承载座和所述下端板承载座固定在所述底板上,所述底板上均匀设置有通孔,所述上端板承载座上设有托台一和侧板一,所述下端板承载座上设有托台二和侧板二,所述托台一和托台二均包括一承载面和一连接面,所述承载面具有一两侧带平表面的圆弧形凹面构型,所述侧板一与所述托台一的连接面紧贴,所述侧板二与所述托台二的连接面紧贴,所述侧板一高度高于所述托台一高度,所述侧板二高度高于所述托台二高度。
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