[实用新型]一种多组卡销式晶圆清洗设备有效
| 申请号： | 201320533515.9 | 申请日： | 2013-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN203417880U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 俞诗博 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗设备，特别涉及一种多组卡销式晶圆清洗设备。包括底座和设置在底座上方的喷嘴，所述喷嘴的喷射口朝向所述底座，其特征在于：所述底座上设有多个卡销组，晶圆通过所述多个卡销组固定在所述底座上；所述底座上还设有用于控制所述卡销组开启和关闭的控制装置。本实用新型在底座上使用多个卡销组，通过控制装置对各个卡销组分开控制，使清洗过程中晶边和卡销接触点位置可以发生变化，从而避免了接触点位置固定导致的接触点始终无法被清洗到的弊端，方案简单易于实现，且清洗效果好，可以防止产生清洗盲区，导致晶边有异常物质残留，使后续制程中产生污染造成晶圆良率低或报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多组卡销式晶圆 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种多组卡销式晶圆清洗设备，包括底座和设置在所述底座上方的喷嘴，所述喷嘴的喷射口朝向所述底座，其特征在于：所述底座上设有多个卡销组，每组卡销组包括多个卡销，晶圆通过所述多个卡销组固定在所述底座上；所述底座上还设有用于控制所述卡销组开启和关闭的控制装置。
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