[实用新型]一种基片架有效
申请号: | 201320543797.0 | 申请日: | 2013-09-03 |
公开(公告)号: | CN203462124U | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 钟赐春 | 申请(专利权)人: | 厦门万德宏光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 泉州市诚得知识产权代理事务所(普通合伙) 35209 | 代理人: | 何家富 |
地址: | 361000 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型属于玻璃真空镀膜设备领域,特别是涉及一种玻璃真空镀膜设备所用的、用于固定和传载玻璃基片的基片架。本实用新型的一种基片架,包括由第一外横杆、第二外横杆、第一竖杆、第二竖杆、至少二根调节横杆构成的基片架的主架体,及玻璃基片固定结构。其中,包括一个导磁横杆,该导磁横杆通过若干连接块与第一外横杆连接。本实用新型用于固定和传载玻璃基片,以进行玻璃真空镀膜作业。 | ||
搜索关键词: | 一种 基片架 | ||
【主权项】:
一种基片架,包括由第一外横杆、第二外横杆、第一竖杆、第二竖杆、至少二根调节横杆构成的基片架的主架体,及玻璃基片固定结构,其特征在于:还包括一个导磁横杆,该导磁横杆通过若干连接块与第一外横杆连接。
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