[实用新型]外延片基盘有效
| 申请号： | 201320559607.4 | 申请日： | 2013-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN203474959U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 邓顺达;林溪汉;陈浩中 | 申请（专利权）人： | 冠铨（山东）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B25/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 272000 山东省济宁市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 延片基盘，由盘体、中心容槽、容槽组成，其特征是中心容槽设置在盘体的中心位置上，容槽均匀设置在中心容槽的四周，中心容槽、容槽内设置外延片，中心容槽、容槽设置为直径相等的圆形，本实用新型的有益效果是外延片基盘一次能生长37片，生产效率高，生产成本低，外延片的均匀性较好，外延片的质量稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 片基盘 | ||
【主权项】：
外延片基盘，由盘体（1）、中心容槽（2）、容槽（3）组成，其特征是中心容槽（2）设置在盘体（1）的中心位置上，容槽（3）均匀设置在中心容槽（2）的四周，中心容槽（2）、容槽（3）内设置外延片，中心容槽（2）、容槽（3）设置为直径相等的圆形；所述的中心容槽（2）、容槽（3）的深度设置为0～650um；所述的中心容槽（2）、容槽（3）的底部形式设置为平底型、斜底型、凹型、凸型、阶梯型中的一种，其底部高度差设置为0.001～0.5um；所述的容槽（3）的布置形式为：盘体的中心位置上设置一个中心容槽（2），中心容槽（2）的四周均匀设置3周容槽（3），每周容槽（3）设置个数从内向外依次分别为：6、12、18。
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