[实用新型]一种电容液气两相流传感器有效
申请号: | 201320562360.1 | 申请日: | 2013-09-11 |
公开(公告)号: | CN203519544U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 陈伟;何峰;颜志红;金忠;王勋志;白庆星;易航;靳建军 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种电容液气两相流传感器,包括基底管、安装在基底管外部的阵列电极,所述阵列电极包括一个检测电极组和检测电极组两侧的保护电极组,所述检测电极组是由多个间隔设置的薄膜检测电极绕基底管同一圆周的外表面一周构成,所述保护电极组是由多个间隔设置的薄膜保护电极绕基底管同一圆周的外表面一周构成。本实用新型采用成熟的工艺技术和材料,在衬底表面制备了一组薄膜电极,在进行液气两相流检测过程中,电极附着性比采用铜箔粘贴的方式要好的多,可靠性增强;本实用新型采用微加工技术,加工形成电极形状的掩膜管,可实现电极形状的一致性,减小了手工粘贴带来的误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 两相 流传 | ||
【主权项】:
一种电容液气两相流传感器,包括基底管(1)、安装在基底管(1)外部的阵列电极,其特征是,所述阵列电极包括一个检测电极组和检测电极组两侧的保护电极组,所述检测电极组是由多个间隔设置的薄膜检测电极(3)绕基底管(1)同一圆周的外表面一周构成,所述保护电极组是由多个间隔设置的薄膜保护电极(4)绕基底管(1)同一圆周的外表面一周构成。
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