[实用新型]一种单晶热场热屏定位盘装置有效
申请号: | 201320570933.5 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN203546195U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 高彬彬;王思锋 | 申请(专利权)人: | 江苏聚能硅业有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人: | 张相午 |
地址: | 215228 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶体生产技术领域,特别涉及一种单晶热场热屏定位盘装置,包括定位盘,所述定位盘上呈圆周均匀设置有三个与石墨螺丝相匹配的定位孔,所述定位盘底部卡套有与定位盘底部相匹配的隔离装置,所述隔离装置通过石墨螺丝与定位盘的定位孔相固定连接;所述隔离装置采用高温钼制而成。在使用本实用新型时,将原有的22寸热场石墨热屏定位盘底部增加钼制隔离装置,由于钼耐高温、耐烧蚀、膨胀系数小、耐急冷急热而不变形不开裂等优良性能,从而增加了热屏定位盘的使用炉次,有效延长定位盘的使用寿命;同时也防止定位盘掉石墨,减少在拉晶过程中出现因掉石墨而出现难成晶的问题。本实用新型具有结构简单,设置合理,制作成本低等优点。 | ||
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【主权项】:
一种单晶热场热屏定位盘装置,包括定位盘(2),其特征在于:所述定位盘(2)上呈圆周均匀设置有三个与石墨螺丝(3)相匹配的定位孔(21),所述定位盘(2)底部卡套有与定位盘(2)底部相匹配的隔离装置(1),所述隔离装置(1)通过石墨螺丝(3)与定位盘(2)的定位孔(21)相固定连接;所述隔离装置(1)采用高温钼制而成。
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