[实用新型]一种大行程微位移驱动器

摘要

本实用新型涉及一种大行程微位移驱动器。它由步进电机、谐波减速器、丝杆螺母副和推杆顺序连接，丝杠螺母副置于精密导轨上，丝杠螺母副和精密导轨之间有一个L形隔板，位移输出的推杆和隔板相连。此种微位移驱动器只有一个控制步进电机的单一控制单元，输出位移通过电机控制器和谐波减速器的两级细分后可达到纳米量级。另外，机械式的结构又保证了驱动器具有几十毫米的位移行程。

主权项

一种大行程微位移驱动器，包括步进电机（1），端盖（2），轴套（3），谐波减速器（4），底座（5），轴承（6），轴承盖（7），丝杆螺母副（8），推杆（9），滑道顶板（10），导向条（11），线性滑道（12），定位销（13）和L型调节板（14），其特征在于，所述步进电机（1）通过端盖（2）和底座（5）固定连接，步进电机（1）的输出端通过轴套（3）与谐波减速器（4）的输入端连接；所述的谐波减速器（4）放入底座（5）的凹槽内，并通过螺钉固定连接，谐波减速器（4）的输出端与丝杆螺母副（8）配合连接；所述的丝杆螺母副（8）的丝杆采用的是一端固定一端游离的支撑方式，轴承盖（7）限制了轴承（6）的轴向运动，轴承（6）通过与底座（5）和丝杆螺母副（8）的配合，限制了丝杆螺母副（8）的轴向运动和径向运动；丝杠螺母副（8）通过定位销（13）和L型调节垫板（14）连接，L型调节垫板（14）和滑道顶板（10）固定连接，线性滑道（12）通过导向条（11）保证了运动方向与系统中心线平行；所述的L型调节垫板（14）通过增减横板面的厚度来调节高度，以保证丝杠螺母副（8）和其它零件的同轴度；推杆（9）和L型调节板（14）连接。