[实用新型]一种硅晶片差异化研磨装置

摘要

一种硅晶片差异化研磨装置，涉及一种硅晶片研磨装置，由传动系统和研磨系统组成，通过在内齿圈（4）上安装内齿圈电机（9），使得内齿圈（4）的转速和转向可以调整，以此来实现对硅晶片双面任意比例的差异化研磨的目的；本实用新型实用性强，安装和维护均比较方便，操作起来比较方便，有效解决了现有硅晶片研磨装置上内齿圈（4）、中心齿圈（5）、上磨盘（7）和下磨盘（3）转速比固定，无法对硅晶片进行双面差异化研磨的问题，从而实现了对硅晶片表面进行差异化研磨的问题，极大满足了客户的需求。

主权项

一种硅晶片差异化研磨装置，包括传动系统和研磨系统，传动系统由中心齿圈电机（8）、内齿圈电机（9）和共有电机（10）构成，研磨系统由中心齿圈（5）、内齿圈（4）、上磨盘（7）、下磨盘（3）和行星游轮片（6）构成，内齿圈（4）内设有上磨盘（7）和下磨盘（3），内齿圈（4）、上磨盘（7）和下磨盘（3）为同心结构，上磨盘（7）和下磨盘（3）的中心设有上磨盘驱动轴（1），上磨盘驱动轴（1）上套有中心齿圈（5），其特征是：在下磨盘（3）上面设有若干个行星游轮片（6），下磨盘（3）的下方设有中心齿圈电机（8）、内齿圈电机（9）和共有电机（10），共有电机（10）通过齿轮带动上磨盘驱动轴（1），中心齿圈电机（8）通过齿轮带动中心齿圈（5），内齿圈电机（9）通过齿轮带动内齿圈（4）。