[实用新型]一种坩埚提升装置有效
| 申请号： | 201320590582.4 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN203546201U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 吴赛军 | 申请（专利权）人： | 江苏南荣科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 高原 |
| 地址： | 214264 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种坩埚提升装置，它包括储气罐，在所述储气罐上设有主管道，在所述主管道上设有手动真空角阀，在所述手动真空角阀的一侧主管道上设有真空计，另一侧主管道上设有截止阀，在所述截止阀的一侧主管道上设有电子真空角阀和旋片式真空泵，在所述电子真空角阀和旋片式真空泵之间通过支管设有电磁透气阀，所述坩埚吸盘通过吸盘管道和手动真空角阀相连。本实用新型对坩埚内部抽真空，利用真空压差使坩埚吸附于吸盘之上，可应用于大尺寸坩埚上，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 提升 装置 | ||
【主权项】：
一种坩埚提升装置，其特征在于：它包括储气罐（1），在所述储气罐（1）上设有主管道（2），在所述主管道（2）上设有手动真空角阀（3），在所述手动真空角阀（3）的一侧主管道（2）上设有真空计（4），另一侧主管道（2）上设有截止阀（5），在所述截止阀（5）的一侧主管道（2）上设有电子真空角阀（6）和旋片式真空泵（7），在所述电子真空角阀（6）和旋片式真空泵（7）之间通过支管（8）设有电磁透气阀（9），坩埚吸盘（10）通过吸盘管道（11）和所述手动真空角阀（3）相连。
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