[实用新型]四氯化硅转化三氯氢硅反应器有效
| 申请号： | 201320593245.0 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN203513289U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 王彬;周齐领;李瑞芳;王任;彭斌 | 申请（专利权）人： | 中国成达工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 刘凯 |
| 地址： | 610041 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种四氯化硅转化三氯氢硅反应器，包括筒体以及设置在筒体上、下端的上封头和下封头，在所述上封头上设置有气体出口，在所述下封头上设置有气体进口，在所述筒体内、靠近下封头一端设置有带风帽的气体分布板，在所述筒体上部设置有至少一个硅粉进管，在所述筒体内设置有至少一个测温元件。本实用新型适用于年产10万吨三氯氢硅的生产工艺，采用冷氢化技术，将四氯化硅和硅粉、氢气在本实用新型的结构中反应生成三氯氢硅，具有电耗低、生产成本低、转化率高的优点，同时可取消多晶硅生产中采用“热氢化技术”必须设置的尾气回收系统，对减少多晶硅装置的投资，降低工厂综合电耗更有利。 | ||
| 搜索关键词： | 氯化 转化 三氯氢硅 反应器 | ||
【主权项】：
四氯化硅转化三氯氢硅反应器，其特征在于：包括筒体（1）以及设置在筒体（1）上、下端的上封头（2）和下封头（3），在所述上封头（2）上设置有气体出口（4），在所述下封头（3）上设置有气体进口（5），在所述筒体（1）内、靠近下封头（3）一端设置有带风帽的气体分布板（6），在所述筒体（1）上部设置有至少一个硅粉进管（7），在所述筒体（1）内设置有至少一个测温元件（8）。
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