[实用新型]放电离子化电流检测器

摘要

本实用新型提供可精确计算管柱内试样气体的流量或者线速度的放电离子化电流检测器。设置有测定检测器主体(1)内的压力的压力传感器(7)。由于通过压力传感器(7)可正确地检测出检测器主体(1)内的压力，所以可以利用所测定的检测器主体(1)内的压力值，精确地算出管柱(2)内的试样气体的流量或者线速度。又，基于压力传感器(7)所测定的检测器主体内的压力，调整从等离子体生成气体供给通路(3)供给的等离子体生成气体的流量的话，即使在管柱内试样气体的流量变化这样的情况下，也能将检测器主体内的试样成分的浓度总是保持为一定。这样，由于以一定的灵敏度进行分析，所以可对试样气体进行良好的分析。

主权项

一种放电离子化电流检测器，其特征在于，具有： 中空状的检测器主体； 管柱，所述管柱向所述检测器主体内供给试样气体； 等离子体生成气体供给通路，所述等离子体生成气体供给通路向所述检测器主体内供给等离子体生成气体； 等离子体产生部，所述等离子体产生部通过放电使等离子体生成气体电离，而产生等离子体； 离子化电流检测部，所述离子化电流检测部基于通过自等离子体的激发光而被离子化的试样气体中的试样成分，来检测离子化电流； 排气通路，所述排气通路排出所述检测器主体内的气体，由于对通过的气体具有规定的阻尼，从而在所述检测体主体内产生压力；以及 压力传感器，所述压力传感器测定所述检测器主体内的压力。