[实用新型]单晶炉的自动化控制系统有效
申请号: | 201320596492.6 | 申请日: | 2013-09-26 |
公开(公告)号: | CN203593808U | 公开(公告)日: | 2014-05-14 |
发明(设计)人: | 郑凤琴;郑剑平;胡国增 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学;中国原子能科学研究院 |
主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20;C30B29/20 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 徐冬涛 |
地址: | 210009 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种单晶炉的自动化控制系统,它包括红外测温仪、电气控制柜、工作台和加热炉,所述红外测温仪的信号输出端与电气控制柜的信号输入端连接;所述电气控制柜和工作台双向连接;所述电气控制柜的信号输出端与加热炉的信号输入端连接。采取本实用新型的自动化控制系统,实现了单晶生产过程中的各项参数自动设定、实时显示、实时控制,保证每炉产品质量高且相同。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉 自动化 控制系统 | ||
【主权项】:
一种单晶炉的自动化控制系统,其特征在于它包括红外测温仪、电气控制柜、工作台和加热炉,所述红外测温仪的信号输出端与电气控制柜的信号输入端连接;所述电气控制柜和工作台双向连接;所述电气控制柜的信号输出端与加热炉的信号输入端连接;其中,所述电气控制柜包括PLC、可编程温度控制器、RS485接口、可控硅触发线路板和电源,所述PLC通过RS485接口分别与工作台和红外测温仪连接;所述PLC的信号输出端与可编程温度控制器的信号输入端连接,所述可编程温度控制器的信号输出端与可控硅触发线路板的信号输入端连接,所述可控硅触发线路板的信号输出端与加热炉的信号输入端连接;所述电源分别同可控硅触发线路板、PLC、工作台连接。
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