[实用新型]管式PECVD设备进料检测装置

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD设备进料检测装置，包括开设在壳体上的进料口，所述进料口的两侧壳体上分别固定有对射式光电开关的发射器和接收器，所述对射式光电开关的控制器与管式PECVD设备的可编程控制器电连接。本实用新型利用对射式光电开关控制设备的上料动作，石墨舟从上料口推进设备后位于对射式光电开关的光传播路径上，此时触发上料机械手启动进入后续操作。本实用新型的使用实现整个工序的全自动化操作，提高了设备的自动化程度解放了劳动力，进而提高了生产效率。

主权项

管式PECVD设备进料检测装置，包括开设在设备壳体上的进料口（1），其特征在于：所述进料口（1）的两侧壳体上分别固定有对射式光电开关的发射器（2）和接收器（3），所述对射式光电开关的控制器与管式PECVD设备的可编程控制器电连接。