[实用新型]独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台有效
| 申请号： | 201320597289.0 | 申请日： | 2013-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN203550916U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;任露泉;高景;董晓龙;邵明坤;张鹏;程虹丙;唐可洪;范尊强;张志辉;张富;朱冰;邹青;裴永茂;董景石;张启勋;朱玉祥;李法新;呼咏;马敬春 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台，属于精密科学显微观测仪器。该平台由X、Y、Z轴精密移动组件、X、Z轴转动组件、X、Y、Z轴柔性铰链式超精密跟随组件、超景深观测镜头组成。X、Y、Z轴精密移动组件、X、Z轴转动组件可分别对超景深镜头距观测试件的X、Y、Z方向相对位置及相对角度进行精密调整；X、Y、Z轴柔性铰链式超精密跟随组件可实现X、Y、Z方向相对于载荷下微震动中试件的主动跟随,Y轴超精密跟随组件还可辅助超精神镜头变焦。超景深镜头用于对试件围观表面形貌进行超景深观测。优点在于：体积精巧、精密驱动、跟随效果好、集成性高，实用性强，既可以独立使用又可以和其他设备组合使用。 | ||
| 搜索关键词： | 立式 自由度 精密 材料 原位 测试 显微 观测 | ||
【主权项】：
一种独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台，其特征在于：包括X轴移动组件（14）、Y轴移动组件（12）、Z轴移动组件（11）、X轴转动组件（7）、Z轴转动组件（6）、X‑Y‑Z三轴跟随组件、超景深镜头（9）；所述Y轴移动组件（12）安装于X轴移动组件（14）之上，Z轴移动组件（11）安装于Y轴移动组件（12）之上；跟随组件底板（1）安装于Z轴移动组件（11）之上，X‑Y‑Z三轴跟随组件的Y‑Z轴跟随组件（2）通过内六角螺钉（3）安装于跟随组件底板（1）之上，X轴跟随组件（5）通过跟随组件连接板(4)与Y‑Z轴跟随组件（2）连接；Z轴转动组件（6）安装于X轴跟随组件（5）之上，X轴转动组件（7）安装于Z轴转动组件（6）之上；超景深观测镜头（9）固定于超景深镜头固定块（10）的孔中，超景深镜头固定块（10）通过显微镜连接轴（8）与X轴转动组件（7）连接。
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