[实用新型]一种单头激光蚀刻机

摘要

本实用新型公开了一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述机柜底座设置有控制系统，所述工作平台上方设置有立柱、光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统，所述光源控制系统包括有激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述扩束镜位于激光发生器与振镜之间，所述激光发生器、扩束镜和振镜的水平轴线重合；所述Z轴升降系统与XY轴工作滑台交叉呈十字状，所述Z轴升降系统上方水平安装有真空吸附平台；所述振镜、场镜、CCD视觉系统和Z轴升降系统的中心轴线平行或重合。本实用新型采用激光制程代替黄光制程，通过电脑制图将图纸直接导入蚀刻机中，无需制版以及昂贵的光刻模版，设备投入的成本较低，加工程序简单快捷。

主权项

一种单头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述工作平台位于机柜底座上方，所述机柜底座设置有控制系统，所述工作平台上方设置有立柱、光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统，所述光源控制系统、CCD视觉系统、XY轴工作滑台和Z轴升降系统分别与控制系统电连接，其特征在于：所述立柱垂直安装于工作平台，所述立柱的上表面与工作平台平行，所述光源控制系统包括有激光发生器、扩束镜、振镜和场镜，所述激光发生器和振镜安装于立柱上表面，所述扩束镜位于激光发生器与振镜之间，所述场镜位于振镜下方，所述激光发生器、扩束镜和振镜的水平轴线重合；所述XY轴工作滑台安装于工作平台，所述Z轴升降系统设置于XY轴工作滑台上方，所述Z轴升降系统与XY轴工作滑台交叉呈十字状，所述Z轴升降系统上方水平安装有真空吸附平台；所述CCD视觉系统安装于场镜下前方，所述场镜与真空吸附平台之间设置有间距，所述振镜、场镜、CCD视觉系统和Z轴升降系统的中心轴线平行或重合。