[实用新型]一种蒸镀喷头及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201320602494.1 | 申请日： | 2013-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN203593780U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 赵德江;于剑伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀喷头及蒸镀设备，所述蒸镀喷头包括：用于传输蒸汽的传导桶；至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上；用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上；用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。本实用新型的蒸镀喷头在喷嘴和传导桶上设有加热装置，根据温度检测装置获取的传导桶的温度，来控制喷嘴和传导桶的温度，可以防止喷嘴堵塞。该蒸镀设备一旦发生喷嘴阻塞，可以通过加热喷嘴和传导桶，使有机物挥发。相比较于现有技术只对传导桶的腔壁进行加热，而喷嘴位置处的温度较低，使得经过喷嘴处的有机气体凝结，容易造成喷嘴堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷头 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸镀喷头，其特征在于，包括： 用于传输蒸汽的传导桶； 至少一个喷嘴，设置在所述传导桶上； 用于检测传导桶温度的温度检测装置，设置在所述传导桶上； 用于加热喷嘴和传导桶的加热装置，设置在所述喷嘴和传导桶上。
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