[实用新型]一种光罩夹取装置有效
| 申请号： | 201320603194.5 | 申请日： | 2013-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN203480209U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陶文松 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 实用新型提供一种光罩夹取装置，包括：交叉设置的第一活动支架和第二活动支架；设置在第一活动支架和第二活动支架的交叉处用于连接第一活动支架和第二活动支架的交叉中轴；分别设置在第一活动支架和第二活动支架底端用于卡住光罩以取出光罩的两个棘爪；一端设置在第一活动支架顶部、另一端设置在第二活动支架顶部，通过一端从第一活动支架或第二活动支架上拆下使得交叉的第一活动支架和第二活动支架张开角度可调的安全锁扣。本实用新型在光刻机等内部光罩升降平台发生严重机械故障时，可以安全有效的转移对产品序列关键的光罩器件，大大降低在转移过程中对光罩器件损伤的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光罩夹取 装置 | ||
【主权项】：
一种光罩夹取装置，其特征在于，包括：交叉设置的第一活动支架和第二活动支架；设置在第一活动支架和第二活动支架的交叉处用于连接第一活动支架和第二活动支架的交叉中轴；分别设置在第一活动支架和第二活动支架底端用于卡住光罩以取出光罩的两个棘爪；一端设置在第一活动支架顶部、另一端设置在第二活动支架顶部，通过一端从第一活动支架或第二活动支架上拆下使得交叉的第一活动支架和第二活动支架张开角度可调的安全锁扣。
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