[实用新型]一种蓝宝石晶体在生长炉底板保护装置有效
申请号: | 201320614414.4 | 申请日: | 2013-09-30 |
公开(公告)号: | CN203715792U | 公开(公告)日: | 2014-07-16 |
发明(设计)人: | 吴明森;郑建生;廖金燕;刘卫兵;阮佳杰 | 申请(专利权)人: | 浙江露通机电有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 311822 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型属于结晶工艺学领域,尤其是涉及一种蓝宝石晶体在生长炉底板保护装置。该保护装置包括坩埚壳体,坩埚壳体内设有存放蓝宝石晶体的坩埚,所述的坩埚壳体底部设有炉体底板,炉体底板下面设有下部水冷通道,坩埚下面连接有埚托,埚托底部连接有埚托支撑盘,埚托支撑盘与炉体底板之间设有隔热保护板,坩埚壳体内与埚托对应的部分形成坩埚的加热区域,该加热区域内设有下保温屏。本实用新型的有益效果是:炉体底板上加设隔热保护板,能够有效阻隔炉体内部较多的热量传递,进而减少传递至炉体底板的热量,防止炉体底板受热变形,保证坩埚受热温度均匀,保证蓝宝石晶体的生长及品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体 生长 底板 保护装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石晶体在生长炉底板保护装置,包括坩埚壳体(1),坩埚壳体(1)内设有存放蓝宝石晶体的坩埚(2),其特征在于,所述的坩埚壳体(1)底部设有炉体底板(3),炉体底板(3)下面设有下部水冷通道(4),坩埚(2)下面连接有埚托(5),埚托(5)底部连接有埚托支撑盘(6),埚托支撑盘(6)与炉体底板(3)之间设有隔热保护板(7),坩埚壳体(1)内与埚托(5)对应的部分形成坩埚(2)的加热区域,该加热区域内设有下保温屏(8),坩埚(2)、埚托(5)、埚托支撑盘(6)和下保温屏(8)均由钨合金或钼合金制造而成,炉体底板(3)由304不锈钢材制成,隔热保护板(7)由氧化铝或氧化锆制成,坩埚壳体(1)内设有台阶状的定位凸台(9),定位凸台(9)的台阶面搭接在隔热保护板(7)上面。
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