[实用新型]真空镀膜机减压装置有效
| 申请号： | 201320618117.7 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN203546140U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈显东 | 申请（专利权）人： | 上海宏昊企业发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201409 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种减压装置。真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的进气口与1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的出气口与第三罗茨泵组联通。本实用新型通过对泵的合理连接从而减小真空室内的气压，起到辅助减压的作用，从而减小整个真空镀膜系统的能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 减压 装置 | ||
【主权项】：
真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，其特征在于，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，所述升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；所述1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；所述2号升级用罗茨泵的进气口与所述1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组联通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海宏昊企业发展有限公司，未经上海宏昊企业发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320618117.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种酸洗洗管设备
- 下一篇：一种真空镀膜加热装置
- 同类专利
- 专利分类
