[实用新型]一种外延片蒸镀装置有效
| 申请号： | 201320620068.0 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN203546135U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 胡泰祥 | 申请（专利权）人： | 元茂光电科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;H01L21/203 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 430074 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种外延片蒸镀装置，包括承载盘和蒸镀单元；所述蒸镀单元包括能被磁铁吸引的固定块、磁铁、不能被磁铁吸引的盖子、外延片、能被磁铁吸引的光罩片，所述光罩片上具有蒸镀孔；所述固定块固定设置在所述承载盘上，所述盖子将所述磁铁密封在所述固定块上，所述外延片设置在所述盖子与所述光罩片之间。在蒸镀承载盘直径和磁铁直径不变的情况下，通过缩小固定块、盖子和光罩片的直径、缩小固定块与固定块之间的间距，可将单个承载盘承载的蒸镀单元由50个提升到62个，相应地，蒸镀的外延片的数量由50个也提升为62个，蒸镀金属成本降低19.3%，使得成品成本降低，提升了产品在市场上的竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 片蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
一种外延片蒸镀装置，其特征在于，包括承载盘（1）和蒸镀单元；所述蒸镀单元包括能被磁铁吸引的固定块（2）、磁铁（3）、不能被磁铁吸引的盖子（4）、外延片（5）、能被磁铁吸引的光罩片（6），所述光罩片（6）上具有蒸镀孔（61）；所述固定块固定设置在所述承载盘上，所述盖子将所述磁铁密封在所述固定块上，所述外延片设置在所述盖子与所述光罩片之间。
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