[实用新型]基于微通道板三维结构的高灵敏度气体传感器有效
申请号: | 201320639249.8 | 申请日: | 2013-10-16 |
公开(公告)号: | CN203551501U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 朱一平;王连卫 | 申请(专利权)人: | 华东师范大学;上海欧普泰科技创业有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 吴泽群 |
地址: | 200062 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了基于微通道板三维结构的高灵敏度气体传感器,由检测模块和加热模块两部分组成;检测模块和加热模块之间通过导电浆料粘合;检测模块和加热模块分别设置有两个引线引出电极,分别为检测电极和加热电极,所述的检测模块和加热模块封装于封装管壳内,所述的封装管壳上共有至少四个电极;所述的检测模块,其结构自上而下依次为上电极、微通道板和下电极;所述的加热模块,其结构自下而上依次为隔热绝缘衬底材料、加热电阻线圈和绝缘薄膜。其有益效果是:大幅度提升气体传感器的灵敏度;微通道板的多孔道结构非常有利于被检测气体的顺利通过,可进一步提高器件的测试灵敏度和反应速度;增强了气敏器件的稳定性和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 基于 通道 三维 结构 灵敏度 气体 传感器 | ||
【主权项】:
基于微通道板三维结构的高灵敏度气体传感器,其特征在于:由检测模块和加热模块两部分组成;检测模块和加热模块之间通过导电浆料粘合;检测模块和加热模块分别设置有两个引线引出电极,分别为检测电极和加热电极,所述的检测模块和加热模块封装于封装管壳内,所述的封装管壳上共有至少四个电极;所述的检测模块,其结构自上而下依次为上电极、微通道板和下电极;所述的加热模块,其结构自下而上依次为隔热绝缘衬底材料、加热电阻线圈和绝缘薄膜。
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