[实用新型]一种全自动槽式化学镀设备

摘要

本实用新型涉及一种应用于晶硅光伏电池生产的全自动槽式化学镀设备，属于晶硅光伏电池生产的化学镀设备技术领域。设备采用了化学镀方法及槽式的设计方案。设备的工艺槽体配备了循环系统、加热系统、过滤系统；加热系统设置在独立于工艺槽体之外的储液箱内；工艺槽采用了多管式并行进液及多孔式匀流板；设备配置了全自动的药液供给系统；设备出口端设置慢提拉干燥装置；与工艺药液接触的部件全部采用工程塑料制造；自动上料、自动下料；中间转运采用全自动机械手；本实用新型具备了全自动、槽体式、易维护、药液循环流量均匀、工艺温度均匀、药液性质稳定、晶硅电池干进干出等特点。

主权项

一种应用于晶硅光伏电池生产的全自动槽式化学镀设备，其特征在于PP工艺槽体安装于设备内部，与设备外部的PP储液箱、称量槽、药液原液桶通过管道相连；工艺药液温度传感器安装于PP工艺槽内；PP储液箱内安装加热器，储液箱温度监控传感器、PH值监控传感器安装于PP储液箱内部；循环泵抽取PP储液箱内的工艺药液，药液依次通过第三十九手动阀门、循环泵、过滤器、第六流量计、第四十一手动阀门进入工艺槽；泵回水第四十手动阀门的输入端连接循环泵，第四十手动阀门的输出端通入PP储液箱；PP工艺槽体内液体排液时，通过第四十九手动阀门回流至PP储液箱内；PP储液箱底部设置排液第三十八手动阀门，PP储液箱侧面的溢流管道与第三十八手动阀门输入口相连，第三十八手动阀门输出口与厂务端连接；PP储液箱的第七液位传感器、第八液位传感器、第九液位传感器安装于PP储液箱侧面；气动泵AP0101抽取原A液桶药液，原A液桶药液内腔连接第十一液位传感器LE0101，通过混合药液和补充药液两条不同功能的通路进入到PP储液箱内；混合药液通路中，药液依次通过的是第一手动阀门、第六手动阀门、第一流量计、第四气动阀门、第十三手动阀门、PP储液箱；补充药液通路中，药液依次通过的是第一手动阀门、第六手动阀门、第一流量计、第一气动阀门、PP称量槽A、第十七手动阀门、第四流量计、第六气动阀门、第十九手动阀门、PP储液箱；第四液位传感器、第五液位传感器、第六液位传感器安装于A‑PP称量槽外侧；气动泵抽取原B液桶药液，原B液桶药液内腔连接第十液位传感器，通过混合药液和补充药液两条不同功能的通路进入到PP储液箱内；混合 药液通路中，药液依次通过的是第二手动阀门、第七手动阀门、第二流量计、第三气动阀门、第十一手动阀门、PP储液箱；补充药液通路中，药液依次通过的是第二手动阀门、第七手动阀门、第二流量计、第二气动阀门、B‑PP称量槽、第十四手动阀门、第三流量计、第五气动阀门、第十六手动阀门、PP储液箱；第一液位传感器、第二液位传感器、第三液位传感器安装于B‑PP称量槽外侧；外部供给的DIW通过纯水管道进入PP储液箱，DIW依次通过的是第A手动阀门、第二十手动阀门、第五流量计、第七气动阀门、第二十二手动阀门；水压力变送器安装在DIW进水管道入口处；A补液系统通过第二手动阀门连接B补液系统,第十二手动阀门、第十五手动阀门、第十八手动阀门、第二十一手动阀门均为取样阀门与各个管路连接。