[实用新型]一种用于高强度磁场的推挽桥式磁传感器

摘要

本实用新型公开了一种用于高强度磁场的推挽桥式磁传感器，该传感器包括两个基片、磁电阻传感元件以及推臂衰减器和挽臂衰减器。同一基片上磁电阻传感元件的钉扎层的磁化方向相同，不同基片上的磁电阻传感元件的钉扎层的磁化方向相反，其中一个基片上的磁电阻传感元件相互电连接构成推挽电桥的推臂，另一个基片上的磁电阻传感元件相互电连接构成推挽电桥的挽臂。推、挽臂上磁电阻传感元件成列排布于推臂衰减器和挽臂衰减器的上方或下方。此传感器可在准桥、半桥、全桥三种电桥结构上得到实现。其具有以下优点：功耗低、偏移量小、线性度好、工作范围宽以及能在高强度磁场中工作等，并且其灵敏度能达到单芯片参考桥式磁传感器的最大灵敏度的2倍。

主权项

一种用于高强度磁场的推挽桥式磁传感器，其特征在于：该传感器包括推臂基片和挽臂基片；至少一个由一个或多个磁电阻传感元件电连接构成的推臂和至少一个由一个或多个磁电阻传感元件电连接构成的挽臂；至少一个推臂衰减器和至少一个挽臂衰减器；所述推臂和所述推臂衰减器沉积在所述推臂基片上，所述挽臂和所述挽臂衰减器沉积在所述挽臂基片上；所述推臂衰减器和所述挽臂衰减器的长轴方向为Y轴方向，短轴方向为X轴方向；所述推臂中的磁电阻传感元件成列排布于所述推臂衰减器的上方或下方，所述挽臂中的磁电阻传感元件成列排布于挽臂衰减器的上方或下方；同一基片上的磁电阻传感元件的磁性钉扎层的磁化方向相同，所述推臂基片与所述挽臂基片上的磁电阻传感元件的磁性钉扎层的磁化方向相反；所述推臂基片和所述挽臂基片上的磁电阻传感元件的敏感方向均为X轴方向。