[实用新型]研磨抛光盘静压支撑装置

摘要

本实用新型涉及一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座，特征是：在机架底座上安装机架座套，机架座套上安装静压支撑座，机架座套和静压支撑座的中心安装主轴，静压支撑座和主轴上端设置研磨抛光盘，研磨抛光盘与主轴固定；在所述机架座套上分别设置第一进油通道和第一回油通道，在静压支撑座上分别设置第二进油通道和第二回油通道，第一进油通道和第二进油通道连通，第一回油通道和第二回油通道连通；在所述静压支撑座的上端面设置进油槽，进油槽与第二进油通道连通；在所述静压支撑座的上端面围绕主轴的外侧设置回油槽，在回油槽中设置固定块，固定块与回油槽之间形成回油腔。本实用新型承载力大、吸振性好，可提高研磨抛光加工精度和效率。

主权项

 一种研磨抛光盘静压支撑装置，包括机架底座（1），其特征是：在所述机架底座（1）上端安装机架座套（2），在机架座套（2）上端安装静压支撑座（3），在机架座套（2）和静压支撑座（3）的中心通孔中分别通过主轴轴承（5）安装主轴（4），在静压支撑座（3）和主轴（4）的上端面设置研磨抛光盘（6），研磨抛光盘（6）与主轴（4）固定；在所述机架座套（2）上分别设置第一进油通道（7‑1）和第一回油通道（8‑1），在静压支撑座（3）上分别设置第二进油通道（7‑2）和第二回油通道（8‑2），第一进油通道（7‑1）和第二进油通道（7‑2）连通，第一回油通道（8‑1）和第二回油通道（8‑2）连通；在所述静压支撑座（3）的上端面设置进油槽（9），进油槽（9）与第二进油通道（7‑2）连通；在所述静压支撑座（3）的上端面围绕主轴（4）的外侧设置回油槽（10），在回油槽（10）中设置固定块（11），固定块（11）的外表面与回油槽（11）的内壁之间形成回油腔，该回油腔与第二回油通道（8‑2）连通。