[实用新型]太阳能电池用硅片扩散炉

摘要

本实用新型公开了一种能够降低生产成本的太阳能电池用硅片扩散炉。该扩散炉包括设置有炉门的炉体，炉体内设有石英舟，硅片放置于石英舟上，炉体上设有进气管和排放管，所述排放管上连接有抽风机，所述炉体上设置有开关装置，所述开关装置包括悬挂支撑架，所述悬挂支撑架上悬挂有可移动式支架和第一驱动装置，还包括旋转杆、推拉杆以及用于推动推拉杆移动的第二驱动装置。由于该结构利用了省力杠杆的结构，因此，在使炉门旋转时，所需的力较小，第二驱动装置承受的负荷较小，因而，不容易损坏第二驱动装置，能不需要频繁更换，减少了购买第二驱动装置所需的费用，可以大大降低生产成本。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。

主权项

太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门（1）的炉体（2），炉体（2）内设有石英舟（3），硅片放置于石英舟（3）上，炉体（2）上设有用于扩散气体进入炉体（2）内的进气管（4）和扩散处理后排放尾气的排放管（5），所述排放管（5）上连接有抽风机（6），所述炉体（2）上设置有用于打开或关闭炉门（1）的开关装置，其特征在于：所述开关装置包括悬挂支撑架（71），所述悬挂支撑架（71）上悬挂有可移动式支架（72）以及用于驱动可移动式支架（72）沿炉体（2）轴向方向移动的第一驱动装置（73），还包括旋转杆（74）、推拉杆（75）以及用于推动推拉杆（75）移动的第二驱动装置（76），所述悬挂支撑架（71）、可移动式支架（72）、第一驱动装置（73）、旋转杆（74）、推拉杆（75）以及第二驱动装置（76）均位于炉体（2）的轴向中心线上方，所述第二驱动装置（76）通过转轴固定在可移动式支架（72）上，所述旋转杆（74）的前端固定在炉门（1）上，末端通过转轴固定在可移动式支架（72）上，推拉杆（75）的前端通过转轴固定在旋转杆（74）上，末端与第二驱动装置（76）相连，当第二驱动装置（76）推动推拉杆（75）移动时，推拉杆（75）推动旋转杆（74）绕旋转杆（74）末端的转轴旋转从而带动炉门（1）旋转。