[实用新型]一种移动式喷嘴有效
| 申请号： | 201320661801.3 | 申请日： | 2013-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN203738610U | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 郭金娥;徐信富;徐力;陈兴邦 | 申请（专利权）人： | 洛阳市鼎晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C5/04 | 分类号： | B24C5/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 471003 洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种移动式喷嘴，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾,其包括：管状喷嘴及喷嘴移动装置；所述管状喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上,能够在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动。本实用新型通过使喷嘴为管状,并且设置喷嘴移动装置使喷嘴左右移动,可以使硅片背面喷砂形成的损伤均匀可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动式 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种移动式喷嘴，用于硅片背面干法喷砂制造吸杂源以消除硅抛光表面氧化雾，其特征在于其包括：管状喷嘴及喷嘴移动装置；所述管状喷嘴设置于所述喷嘴移动装置上，能够在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动；所述喷嘴移动装置为汽缸，所述管状喷嘴设置于所述汽缸的活塞上；所述管状喷嘴在所述喷嘴移动装置的作用下左右移动的距离为0‑200mm。
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