[实用新型]一种MOCVD设备尾气管路结构

摘要

本实用新型公开了一种MOCVD设备尾气管路结构，其沿反应腔气体管路从左向右依次包括：反应腔，大球阀，第一过滤器，压力控制阀，真空泵，氮气稀释系统，尾气处理系统；其预流气体管路依次包括预留管路、第一气动阀，且所述第一气动阀的出口通过管路与所述反应腔气体管路相通，所述第一气动阀的出口通过管路连通在所述第一过滤器与所述压力控制阀之间，所述真空泵与所述尾气处理系统之间还设置有第二过滤器。该实用新型可以有效避免预流气体管路和反应腔气体管路在气体切换的过程中引起的反应腔体内的气流波动，同时防止真空泵后尾气管路被堵现象的发生。

主权项

一种MOCVD设备尾气管路结构，其沿反应腔气体管路从左向右依次包括：反应腔，大球阀，第一过滤器，压力控制阀，真空泵，氮气稀释系统，尾气处理系统；其预流气体管路依次包括预留管路、第一气动阀，且所述第一气动阀的出口通过管路与所述反应腔气体管路相通，其特征在于：所述第一气动阀的出口通过管路连通在所述第一过滤器与所述压力控制阀之间。