[实用新型]一种制备石墨烯时使用的石英加热腔有效
| 申请号： | 201320665607.2 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN203593623U | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 高玉强;宋建;张红岩;王建正 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于新材料技术领域，具体涉及一种利用高温退火在碳化硅衬底上制备石墨烯时使用的石英加热腔，该石英加热腔可将相应的石墨桶放置在腔体内，利用常规的射频加热方式对其加热生产石墨烯，该加热腔包括内有中空夹层的上开口腔体和顶盖，顶盖上设置有测温窗口和进气口，腔体底部设置有测温窗口和出气口，腔体内设置有保温层，保温层中部为凹槽，腔体底部设置的测温窗口贯穿保温层与凹槽连接，采用这种结构的石英加热腔，可以利用常规的射频加热装置对腔体内的物质进行加热，加热效率高，热量散失少，且获得的温度场更加均匀，通过其利用高温退火在碳化硅衬底上制备石墨烯，提高了石墨烯的纯度，节约了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 石墨 使用 石英 加热 | ||
【主权项】：
一种制备石墨烯时使用的石英加热腔，其特征在于：包括内有中空夹层的上开口腔体（1）和顶盖（9），顶盖（9）上设置有测温窗口（3）和进气口（2），腔体底部设置有测温窗口（3）和出气口（5），腔体（1）一侧顶部设置有与中空夹层联通的冷却水出口（4），腔体（1）另一侧底部设置有与中空夹层联通的冷却水进口（6），腔体（1）内设置有保温层（7）。
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