[实用新型]一种分段式悬挂热屏有效
| 申请号： | 201320668497.5 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN203583004U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 令狐铁兵;仝泉 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型所述的一种分段式悬挂热屏，适用于直拉法硅单晶生产技术领域，特别是适用于电路级硅单晶的生产使用。所述的一种分段式悬挂热屏是由上热屏内层（1）和上热屏外层（2）组成的上热屏、由下热屏外层（5）和下热屏内层（6）组成的下热屏、钼挂钩（3）、固定螺丝（4）构成。构成热屏的上热屏和下热屏采用内外两层的组合式结构设计加上夹层间隙中间用保温材料填充，充分保证了悬挂热屏的保温性能，提高了石英坩埚上部热场的温度梯度，避免了在单晶拉制中热屏外部过冷，挥发物积聚的问题出现，提高了拉晶速度，减少了拉晶时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 悬挂 | ||
【主权项】：
一种分段式悬挂热屏，其特征是：所述的一种分段式悬挂热屏主要是由上热屏内层（1）和上热屏外层（2）组成的上热屏、由下热屏外层（5）和下热屏内层（6）组成的下热屏、钼挂钩（3）、固定螺丝（4）构成；其中上热屏和下热屏采用高纯等静压石墨材料加工制做，上热屏的上热屏内层（1）与上热屏外层（2）之间的层间隙为10mm，下热屏外层（5）的顶部设计有钼挂钩（3），采用钼材料加工的固定螺丝（4）固定。
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