[实用新型]大型石墨套碳化硅涂层用气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种大型石墨套碳化硅涂层用气相沉积炉；其特征在于：包括炉体、炉盖及炉底，在所述炉体内从外到里依次有炉壳、外层保温屏、外层发热体、沉积腔、内层发热体及内层保温屏。将需化学沉积的大尺寸石墨筒状产品置于一个封闭的沉积腔体内，并通入反应气体。而上述沉积腔体又置于由保温材料构建的封闭的保温腔体内，在沉积腔体及保温腔体之间放置发热体，发热体应分别设置在沉积腔体的两侧，外层及内层的发热体可独立供电，独立控制。本实用新型适用于大型筒状炭/石墨制品表面涂层的气相沉积炉，且具有炉膛升温时间短，温度分布均匀，空间使用合理的特点。

主权项

一种大型石墨套碳化硅涂层用气相沉积炉；其特征在于：包括炉体（4）、炉盖（1）及炉底（6），在所述炉体（4）从外到内里依次有炉壳（22）、外层保温屏（14）、外层发热体（16）、沉积腔、内层发热体（3）及内层保温屏（5）；所述的沉积腔为环状，由沉积腔外壁（13）、沉积腔内壁（2）、沉积腔顶盖（21）及沉积腔底板（12）组成；沉积腔底板（12）上有进气孔；所述沉积腔外壁（13）的外侧配置有外层发热体（16），所述的沉积腔内壁（2）的外侧配置有内层发热体（3）；所述的内层发热体（3）的内侧有内层保温屏（5）；所述的炉底（6）配置有支承件砌体（9）；所述内、外层保温屏（5、14）的顶部设有保温盖（17），下部设有保温垫层（11）；由外层保温屏（14）、内层保温屏（5）、保温盖（17） 及保温垫层（11） 构成了一个封闭的环状保温腔；进气管（8）设于炉底（6），进气管（8） 为金属接管；分别从炉底（6）进入，进气管（8）分布于支承件砌体（9）两个同心环之间；进气管（8）的内口处有气体分布罩（10）；气体分布罩（10）为空心圆柱状，四周及顶面均匀布满小孔。