[实用新型]样品制作装置有效
| 申请号： | 201320672681.7 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN203536387U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 李震远;史江北;郑晓刚;李爱民;刘竞文 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出一种样品制作装置，用于辅助在样品台上制备探针测试样品，所述样品台的一端具有两个斜面，所述两个斜面相交形成一中线，所述样品制作装置包括一固定台，所述固定台为可容纳所述样品台的筒状，所述固定台的一端设置有一目镜，所述目镜正对所述中线，所述固定台具有至少一用于调整所述探针测试样品的开口。本实用新型的所述样品制作装置在使用时，将所述样品台放置于所述固定台内，并通过所述目镜观察所述探针测试样品中分析区域与所述中线的相对位置，通过调整，使所述分析区域的一侧边与所述中线相垂直，从而精确地固定好所述探针测试样品的位置，进而使制备出的所述探针测试样品符合测量标准，使测试结果更为精确。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 制作 装置 | ||
【主权项】：
一种样品制作装置，用于辅助在样品台上制备探针测试样品，所述样品台的一端具有两个斜面，所述两个斜面相交形成一中线，所述探针测试样品位于至少一所述斜面上，其特征在于，所述样品制作装置包括一固定台，所述固定台为可容纳所述样品台的筒状结构，所述固定台的一端设置有一目镜，所述目镜正对所述中线，所述固定台具有至少一用于调整所述探针测试样品的开口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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