[实用新型]悬臂探针装置

摘要

本实用新型提供了一种悬臂探针装置，用以与硅片管脚接触，实现对硅片的检测，包括探头、悬臂与弹簧金属结构，所述探头通过所述弹簧金属结构与所述悬臂连接，且所述探头通过所述弹性金属结构沿所述探头的长度方向实现弹性伸缩。本实用新型通过弹簧金属结构的引入，从而在探头垂直接触硅片管脚的同时，能够通过探头的弹性伸缩限制探针对硅片管脚所施加的压力，一方面，本实用新型通过垂直接触消除了偏移的现象。另一方面，通过弹性伸缩避免了探针对硅片管脚所施加的压力过大，压痕过深等情况，进而避免了探针对硅片管脚，甚至是硅片裸片的损坏。提供了一种既能防止偏移的现象，又能不损坏硅片管脚和硅片的悬臂探针装置。

主权项

一种悬臂探针装置，用以与硅片管脚接触，实现对硅片的检测，包括探头，其特征在于：还包括悬臂与弹簧金属结构，所述探头通过所述弹簧金属结构与所述悬臂连接，且所述探头通过所述弹性金属结构沿所述探头的长度方向实现弹性伸缩。