[实用新型]一种软轴提拉型单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种软轴提拉型单晶炉，包括炉体、提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，所述的软轴上端连接提拉装置，所述的提拉装置固定设置在籽晶轴上，所述的籽晶轴通过齿轮连接电机，所述的软轴下端连接有籽晶夹持器，所述的炉体上端分别设置有保护气进口和真空抽气口，所述的炉体下端设置有石墨托，所述的坩埚放置于石墨托上，所述的石墨托下端固定连接有坩埚轴，所述的炉体设置有加热器。本实用新型利用惰性气体（氩气）的保护环境，以石墨电阻加热器，将多晶硅材料熔化，用直拉法生长无错位单晶棒。

主权项

一种软轴提拉型单晶炉,包括炉体（1）、提拉装置（2）、软轴（3）、坩埚（4）和籽晶轴（10），其特征在于：所述的软轴（3）上端连接提拉装置（2），所述的提拉装置（2）固定设置在籽晶轴（10）上，所述的籽晶轴（10）通过齿轮连接电机（11），所述的软轴（3）下端连接有籽晶夹持器（5），所述的炉体（1）上端分别设置有保护气进口（6）和真空抽气口（7），所述的炉体（1）下端设置有石墨托（8），所述的坩埚（4）放置于石墨托（8）上，所述的石墨托（8）下端固定连接有坩埚轴（12），所述的炉体（1）设置有加热器（9）。