[实用新型]晶片的研磨装置有效
| 申请号： | 201320682086.1 | 申请日： | 2013-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN203527230U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘慎召 | 申请（专利权）人： | 芜湖市三晶新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241300 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片的研磨装置，所述研磨装置包括工作台；进一步包括：内齿圈固定在所述工作台上；转轴设置在内齿圈的中心，外缘套装齿轮；9个游轮外缘设有的齿分别与所述内齿圈、齿轮咬合，游轮上设有盲孔；夹具设置在所述游轮上部，进一步包括：第一夹持板设置在底板的一侧；第二夹持板设置在所述底板的另一侧，与所述第一夹持板相对；连接部件穿过所述第一夹持板和第二夹持板上的通孔并固定在所述底板上；所述底板上设有插入所述盲孔的杆；所述第一夹持板、第二夹持板的顶端到底板的距离小于待研磨晶片的厚度；磨盘，所述磨盘设置在所述游轮的上部，磨盘内设有磨块。本实用新型具有生产效率高、成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片的研磨装置，所述研磨装置包括工作台；其特征在于：所述晶片的研磨装置进一步包括：内齿圈，所述内齿圈固定在所述工作台上；转轴，所述转轴设置在内齿圈的中心，外缘套装齿轮；9个游轮，所述9个游轮外缘设有的齿分别与所述内齿圈、齿轮咬合；所述游轮上设有盲孔；夹具，所述夹具设置在所述游轮上部，所述夹具进一步包括：第一夹持板，所述第一夹持板设置在底板的一侧；第二夹持板，所述第二夹持板设置在所述底板的另一侧，与所述第一夹持板相对；所述第一夹持板、第二夹持板的顶端到底板的距离小于待研磨晶片的厚度；连接部件，所述连接部件穿过所述第一夹持板和第二夹持板上的通孔并固定在所述底板上；所述底板上设有插入所述盲孔的杆；磨盘，所述磨盘设置在所述游轮的上部，磨盘内设有磨块。
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