[实用新型]一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构

摘要

一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构，主要解决现有的喷淋结构由于设计不够合理，气体在进入腔室之前已进行接触，不易于控制沉积的时间及特气资源浪费的技术问题。该结构采用平面分区方式，隔离不同的气体路径。喷淋头结构中主体以太极或波浪式的结构形式，均匀布置气体B分区及气体C分区两个分区。分别作为气体B、C的分区，气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室，气体A直接从其独自的气体A通道的两个通道进入腔室。本实用新型结构合理，可广泛应用于半导体薄膜沉积技术领域。

主权项

一种波浪式多气体独立通道的喷淋结构，其特征在于：喷淋头结构中主体以太极或波浪式的结构形式，均匀布置气体B分区及气体C分区两个分区，分别作为气体B、C的分区，气体B、C在分区扩散后从各自分区中的孔中进入反应腔室，气体A直接从其独自的气体A通道的两个通道进入腔室。