[实用新型]一种离子注入机外部门状态监控装置有效
| 申请号： | 201320685462.2 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN203644727U | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 郭杰 | 申请（专利权）人： | 上海广奕电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 201300 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种离子注入机外部门状态监控装置包括依次串联的门行程开关，所述门行程开关设有常开触点和常闭触点，其特征在于：所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻和发光二极管依次串联组成并串接在门行程开关的常闭触点之后。本设计充分利用闲置常闭触点用来监控离子注入机门的开闭状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 外部 状态 监控 装置 | ||
【主权项】：
一种离子注入机外部门状态监控装置，包括依次串联的门行程开关（1），所述门行程开关（1）设有常开触点（1.1）和常闭触点（1.2），其特征在于：所述立体注入机外部门状态监控装置还包括有门状态指示器，所述的门状态指示器由电阻（2）和发光二极管（3）依次串联组成并串接在门行程开关（1）的常闭触点（1.2）之后。
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