[实用新型]一种新型真空镀膜机有效
| 申请号： | 201320692916.9 | 申请日： | 2013-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN203530416U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215341 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种新型真空镀膜机，它涉及真空镀膜机技术领域。真空室(1)的上端设置有放气孔(2)，真空室(1)内设置有电离规管(3)，真空室(1)的下端设置有扩散泵(4)，扩散泵(4)与储气桶(5)连接，储气桶(5)的上端设置有低阀(6)和热偶计规管(7)，储气桶(5)通过橡胶管(8)与机械泵(9)连接，且储气桶(5)与机械泵(9)之间设置有磁力阀(10)。它结构设计合理，操作简单，使用方便，生产制造成本低，加工效果高，镀膜效果好，能够满足中高档产品的镀膜要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种新型真空镀膜机，其特征在于它是由真空室(1)、放气孔(2)、电离规管(3)、扩散泵(4)、储气桶(5)、低阀(6)、热偶计规管(7)、橡胶管(8)、机械泵(9)、磁力阀(10)组成；真空室(1)的上端设置有放气孔(2)，真空室(1)内设置有电离规管(3)，真空室(1)的下端设置有扩散泵(4)，扩散泵(4)与储气桶(5)连接，储气桶(5)的上端设置有低阀(6)和热偶计规管(7)，储气桶(5)通过橡胶管(8)与机械泵(9)连接，且储气桶(5)与机械泵(9)之间设置有磁力阀(10)。
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