[实用新型]一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计有效
| 申请号： | 201320699591.7 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN203606384U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;王莉;朱京;杜康;白晓晓;王琪;刘俊 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本实用新型的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结构合理，灵敏度高,数字化输出,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。可有效解决高过载型传感器存在的低灵敏度、低有效分辨率、高检测阈值下限等难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 约瑟夫 效应 检测 硅压阻式 加速度计 | ||
【主权项】：
一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，其特性在于，包括：键合基板(1)；支撑框体(2)，支撑框体(2)设在键合基板(1)上方并与键合基板(1)相连接；弹性梁(4)，弹性梁(4)用于支撑加速度计的质量块(3)，两端分别连接支撑框体(2)和质量块(3)，弹性梁(4)上表面与支撑框体(2)和质量块(3)上表面平行，且其厚度小于质量块(3)厚度；质量块(3)，质量块(3)通过弹性梁(4)固定在支撑框体(2)中间，且厚度小于支撑框体(2)厚度；多组压敏电阻，每组压敏电阻包括四个压敏电阻(6，7，8，9)，其中两个压敏电阻(8，9)设在弹性梁(4)根部，另两个压敏电阻(6，7)设在支撑框体(2)上，且位于支撑框体（2）与弹性梁(4)相连接的邻近区域；和多组约瑟夫逊器件(5)，每组约瑟夫逊器件(5)位于支撑框体(2)上表面，且与支撑框体(2)上表面布置的两个压敏电阻(6，7)邻近，与各弹性梁(4)位置对应。
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