[实用新型]丝锯装置有效
| 申请号： | 201320705406.0 | 申请日： | 2013-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN203765813U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | Y·希诺讷;F·博尔内;S·苏比耶勒;J·斯佩雷尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张欣 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 描述了一种用于切割半导体材料的丝锯装置。所述丝锯装置包括张力调节器，所述张力调节器适用于将第一线张力转变为第二线张力。所述张力调节器包括第一导辊和第二导辊，所述第一导辊包括旋转轴和形成于所述第一导辊的外圆周表面中的多个槽，所述第二导辊包括形成于所述第二导辊的外圆周表面中的多个槽。所述第一导辊和所述第二导辊以固定距离彼此间隔开。所述第二导辊可围绕第一导辊的旋转轴枢转。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种用于切割半导体材料的丝锯装置(100)，其特征在于，包括： 张力调节器(1)，所述张力调节器(1)适用于将第一线张力转变为第二线张力，所述张力调节器(1)包括： 第一导辊(15)，所述第一导辊(15)包括旋转轴(45)和形成在所述第一导辊(15)的外圆周表面中的多个槽(115)，以及 第二导辊(25)，所述第二导辊(25)包括形成在所述第二导辊(25)的外圆周表面中的多个槽(125)，其中 所述第一导辊(15)和所述第二导辊(25)以固定距离(L)彼此间隔开。
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