[实用新型]一种检测集成谐振环的谐振波长漂移的装置

摘要

本实用新型公开一种检测集成谐振环的谐振波长漂移的装置，包括用于输出单频激光的激光器；调制器和网络分析仪，所述激光器产生的单频激光通过所述调制器调制后光信号变为元激光和两个边光带；滤波器谐振环组件，所述滤波环组件包括滤波器和集成谐振环，通过所述调制器的激光首先通过所述滤波器或者集成谐振环任意一个后再通过另一个，使得得到具有频率差的一对激光作为检测光信号；光电探测器，由所述光电探测器把所述光信号转换为电信号，并且把所述电信号传递给所述网络分析仪由网络分析测量得到最后相位。本实用新型采取相位检测的方式，有效的降低了由光源稳定性、与集成芯片之间的光耦合系统的振动等因素所造成的强度噪声，提高检测精度。

主权项

一种检测集成谐振环的谐振波长漂移的装置，其特征在于：包括激光器(1)，所述激光器(1)用于输出一个单频激光；调制器(2)和网络分析仪(6)，所述调制器(2)和所述网络分析仪(6)电连接，所述激光器(1)产生的单频激光通过所述调制器调制后光信号变为原激光和两个边光带；滤波器谐振环组件，所述滤波环组件包括滤波器(3)和集成谐振环(4)，通过所述调制器的激光首先通过所述滤波器(3)或者集成谐振环(4)任意一个后再通过另一个，使得得到具有频率差的一对激光作为检测光信号；光电探测器(5)，所述光电探测器(5)和所述网络分析仪(6)电连接，所述检测光信号通过所述光电探测器(5)，由所述光电探测器(5)把所述光信号转换为电信号，并且把所述电信号传递给所述网络分析仪由网络分析测量得到最后相位。