[实用新型]一种大直径、超长度高纯硅晶体切割设备

摘要

本实用新型公开了一种大直径、超长度高纯硅晶体切割设备，包括电镀金刚石砂线、工作平台、安装电镀金刚石砂线的摇臂、安装固定摇臂的曲柄摇杆机构和石墨粘块，采用电镀金刚石砂线作为刀具，大大提高高纯硅晶体加工范围，尤其针对大直径、超长度的高纯硅晶体；选择电镀金刚石砂线直径，使电镀金刚石砂线参与切削面积小，材料利用率有效提高；通过控制切削速度，降低了加工表面的粗糙度，不需进行表面精细加工，提高效率及成品率；采用了吸振材料粘接后过度装夹，由此改善了高纯硅晶体受力方式，提高了工序产品的成品率；电镀金刚石砂线作为切割刀具，整个工序控制无需人为调整，操作人员进行简单的技能培训，降低用工成本，提高工作效率。

主权项

一种大直径、超长度高纯硅晶体切割设备，其特征在于：包括电镀金刚石砂线、工作平台、安装电镀金刚石砂线的摇臂、安装固定摇臂的曲柄摇杆机构和石墨粘块，所述高纯硅晶体粘接在石墨粘块上，石墨粘块粘接后过度装夹在线切设备工作台上，电镀金刚石砂线固定在线切设备摇臂上，由主电机通过三角带传动到曲柄摇杆机构，让电镀金刚石砂线作主切削运动，辅助电机让电镀金刚石砂线作辅助切削运动。