[实用新型]一种激光微加工设备系统

摘要

本实用新型公开了一种激光微加工设备系统，包括工控机，轴驱动模块，运动控制卡和激光调Q控制卡，运动控制卡的输出端接有轴驱动模块，轴驱动模块由X轴驱动模块、Y轴驱动模块、Z轴驱动模块和θ轴驱动模块构成，轴驱动模块由伺服驱动器和伺服电动机构成，X轴电动机和Y轴电动机驱动连接工作台，Z轴电动机和θ轴电动机驱动连接激光器，X轴光栅尺、Y轴光栅尺、Z轴光栅尺和θ轴光栅尺分别与运动控制卡连接，激光调Q控制卡输出端分别与Q开关驱动器和气体开关连接，Q开关驱动器输出端连接主要由激光发生器、第一全反射镜、第二全反射镜和聚光透镜构成的激光器。本实用新型结构简单，设计合理，控制精确，实现方便。

主权项

一种激光微加工设备系统，其特征在于：包括工控机（1）和与所述工控机（1）相接的运动控制卡（2）、激光调Q控制卡（5），所述运动控制卡（2）的输出端与轴驱动模块（3）相接，所述轴驱动模块（3）由用于驱动工作台X轴方向运动的X轴驱动模块（3‑1）、用于驱动工作台Y轴方向运动的Y轴驱动模块（3‑2）、用于驱动激光器Z轴方向运动的Z轴驱动模块（3‑3）和用于驱动激光器θ轴旋转运动的θ轴驱动模块（3‑4）构成，所述X轴驱动模块（3‑1）由X轴驱动器（3‑11）和X轴电动机（3‑12）构成，所述Y轴驱动模块（3‑2）由Y轴驱动器（3‑21）和Y轴电动机（3‑22）构成，所述Z轴驱动模块（3‑3）由Z轴驱动器（3‑31）和Z轴电动机（3‑32）构成，所述θ轴驱动模块（3‑4）由θ轴驱动器（3‑41）和θ轴电动机（3‑42）构成，所述X轴电动机（3‑12）和Y轴电动机（3‑22）均与工作台（4）连接，工作台（4）上的X轴光栅尺和Y轴光栅尺均与运动控制卡（2）电连接，所述Z轴电动机（3‑32）和θ轴电动机（3‑42）均与激光器（7）连接，激光器（7）上的Z轴光栅尺和θ轴光栅尺均与运动控制卡（2）电连接，所述激光器（7）主要由激光发生器（7‑1）、第一全反射镜（7‑2）、第二全反射镜（7‑3）和聚光透镜（7‑4）构成，所述第一全反射镜（7‑2）布设在激光发生器（7‑1）的传输光路上，所述第二全反射镜（7‑3）布设在第一全反射镜（7‑2）的反射光路上，所述聚光透镜（7‑4）布设在第二全反射镜（7‑3）的反射光路上；所述激光调Q控制卡（5）的输出端连接有控制激光发生器（7‑1）的Q开关驱动器（6），所述Q开关驱动器（6）的输出端与激光发生器（7‑1）连接，水冷机（8）与激光发生器（7‑1）相接。