[实用新型]一种多晶硅铸锭装置

摘要

本实用新型公开了一种能够提高产品合格率的多晶硅铸锭装置。该多晶硅铸锭装置包括炉体，所述炉体内设置有下托保温板与保温罩，保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼，所述保温罩上连接有升降杆，所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台，所述炉体底部安装有溢流毯，所述溢流毯的上表面安装有溢流丝，所述坩埚与坩埚护板之间设置有碳毡，侧部加热器的热量先透过坩埚护板后再透过碳毡传递给坩埚，这样可以使热量在透过碳毡时得到均化，从而使坩埚受热均匀，保证坩埚内的硅料熔化速度一致，最后形成的铸锭合格率较高，可以提高产品的合格率。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

一种多晶硅铸锭装置，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，所述炉体（1）底部安装有溢流毯（18），所述溢流毯（18）的上表面安装有溢流丝（19），其特征在于：所述坩埚（6）与坩埚护板（7）之间设置有碳毡（21）。