[实用新型]多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉的进气管的出气口延伸至靠近坩埚内壁的位置并且从出气口喷出的气流的中心轴线与坩埚的中心轴线之间的夹角为20℃～30℃，当氩气从进气管的出气口喷出时是斜向下喷向硅液表面的，由原来的直吹改为斜吹，而且从出气口喷出的气流的中心轴线和坩埚的中心轴线为异面直线，因此，斜向下喷出的气流会带动坩埚内的硅液旋转，从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散，使液相成分分布均匀，避免凝固后的铸锭中存在杂质富集区，保证铸锭的电阻率分布均匀，而且坩埚内的硅液被搅动，可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

多晶硅铸锭炉，包括炉体（1），炉体（1）上设置有抽气孔（2），所述炉体（1）内设置有下托保温板（3）与保温罩（4），保温罩（4）放置在下托保温板（3）上，保温罩（4）与下托保温板（3）共同构成保温隔热笼，所述保温罩（4）上连接有能够使保温罩（4）上下移动的升降杆（5），所述保温隔热笼内设置有坩埚（6）、坩埚护板（7）、石墨底板（8）、石墨盖板（9）、侧部加热器（10）、顶部加热器（11）、热交换平台（12），所述石墨底板（8）放置在热交换平台（12）上，坩埚（6）放置在石墨底板（8）上，坩埚护板（7）设置在坩埚（6）外侧，侧部加热器（10）设置在坩埚护板（7）的外侧，石墨盖板（9）设置在坩埚（6）上方，顶部加热器（11）设置在石墨盖板（9）上方，所述热交换平台（12）通过石墨立柱（22）固定在炉体（1）底部，坩埚护板（7）的上端设置有尾气排放孔（13），还包括进气管（14），所述进气管（14）依次穿过炉体（1）、保温罩（4）、顶部加热器（11）、石墨盖板（9）后伸入坩埚（6）内，其特征在于：所述进气管（14）的出气口（15）延伸至靠近坩埚（6）内壁的位置并且从出气口（15）喷出的气流的中心轴线与坩埚（6）的中心轴线之间的夹角为20℃～30℃，从出气口（15）喷出的气流的中心轴线和坩埚（6）的中心轴线为异面直线。