[实用新型]一种静电拉伸薄膜反射镜的加工装置有效
| 申请号： | 201320716607.0 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN203551872U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 蒋龙军;唐敏学 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B7/188 | 分类号： | G02B7/188 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种静电拉伸薄膜反射镜的加工装置，包括薄膜固定装置、电极板、静电高压输出装置；所述的电极板包括中心圆形电极和呈同心圆分布的均等径向宽度的环形电极，环形电极为3～10个；中心圆形电极的半径为环形电极径向宽度的1.5~1.7倍。加工时，将薄膜反射镜中的薄膜周边固定在圆环固定装置上，电极置于薄膜正下方，以中心电极半径的中心处的压强为中心电极区域的压强，以各环形电极径向中心点的压强为该环形电极区域的压强，将各压强转换成电压信号输入到各对应的电极上，经加工成型，得到静电拉伸薄膜反射镜。采用本实用新型提供的静电拉伸薄膜反射镜的加工装置得到的面形，其精度显著提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 拉伸 薄膜 反射 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种静电拉伸薄膜反射镜的加工装置，包括薄膜固定装置、电极板、静电高压输出装置；其特征在于：所述的电极板包括中心圆形电极和呈同心圆分布的均等径向宽度的环形电极；所述的中心圆形电极的半径为环形电极径向宽度的1.5～1.7倍。
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