[实用新型]测量标记有效
| 申请号： | 201320717895.1 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN203553154U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;蔡博修 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型揭示了一种测量标记，包括四个第一标记，所述第一标记位于一曝光单元外的四个顶角处；第二标记，位于所述曝光单元外的一个顶角处，所述第二标记为“十”字形，由所述“十”字形分割出四个空白区域，位于该顶角处的第一标记位于所述空白区域中，且所述第二标记与该第一标记的相对位置固定不变。通过测量每个第一标记与第二标记之间的距离，既能够得到曝光单元之间的位置关系，又能够明确每个曝光单元自身的例如缩放、偏移、旋转等变动，从而能够达到较为精确和快速的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 标记 | ||
【主权项】：
一种测量标记，用于晶片在扫描电子显微镜下的测量，其特征在于，包括：四个第一标记，所述第一标记位于一曝光单元外的四个顶角处；第二标记，位于所述曝光单元外的一个顶角处，所述第二标记为“十”字形，由所述“十”字形分割出四个空白区域，位于该顶角处的第一标记位于所述空白区域中，且所述第二标记与该第一标记的相对位置固定不变。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320717895.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：改良型LED硅胶芯片封装结构
- 下一篇：一种引线框架
