[实用新型]新型多晶硅铸锭装置

摘要

本实用新型公开了一种新型多晶硅铸锭装置，它包括炉体、热场结构和支架，其特征是所述的炉体内设有硅液渗漏承接装置和热场结构，且硅液渗漏承接装置设在热场结构下部，支架设在炉体上，这样因某些意外原因而流出的液态硅就不会流到炉体上，而是漏在了热场结构下部的硅液渗漏承接装置内，避免炉体烧毁而引发的安全事故，本实用新型得到的一种新型多晶硅铸锭装置，结构简单，装置稳定牢固不易损坏，即使石英坩埚破裂炉体和隔热笼也不会被烧毁的，且有专门用于盛装渗漏液态硅的硅液渗漏承接装置，大大提高了工作安全性，不易引发安全事故，适合大范围推广使用。

主权项

一种新型多晶硅铸锭装置，它包括炉体（1）、热场结构（2）和支架（3），其特征是所述的炉体（1）内设有硅液渗漏承接装置（4）和热场结构（2），且硅液渗漏承接装置（4）设在热场结构（2）的热场结构下部（5），支架（3）设在炉体（1）上；所述的硅液渗漏承接装置（4）内铺设有衬层（6），衬层（6）上设有凸台（7），且凸台（7）上设有溢流沟（8），凸台（7）内设有安装通孔（9）；所述的热场结构（2）包括坩埚（10）和石墨坩埚（11），石墨坩埚（11）设在坩埚（10）的外部，石墨坩埚（11）的石墨坩埚下侧（13）设有石墨冷却块（14），坩埚（10）的四周设有隔热笼（16），硅液渗漏承接装置（4）设在隔热笼（16）内且设在石墨冷却块（14）的下方。