[实用新型]一种扫描近场光学检测台有效
| 申请号： | 201320724059.6 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN203551595U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 黄海阳;武爱民;甘甫烷;盛振;李伟 | 申请（专利权）人： | 江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 226009 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种扫描近场光学检测台，包括：本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括底面以及相互垂直相邻的四个侧面；所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。本实用新型支柱伸长量可调、可测，因此工作台的位移精度较高且控制较为简单；工作台运动的有效行程较大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 近场 光学 检测 | ||
【主权项】：
一种扫描近场光学检测台，其特征在于，所述扫描近场光学检测台至少包括：本体（22）；所述本体包括相互垂直的XOY面、YOZ面以及ZOX面；所述XOY面、YOZ面以及ZOX面围成一个收容空间；收容于所述收容空间内用于放置工件（17）的矩形工作台（18）；所述矩形工作台包括与XOY平行的底面以及垂直于所述底面且相互垂直相邻的四个侧面；所述矩形工作台的底面四角设有与所述本体XOY面固定的四个液压驱动单元（21）；所述矩形工作台相邻的两个侧面分别设有与所述本体YOZ面以及ZOX面固定的两个液压驱动单元（11）；所述本体YOZ面上设有位于所述工件上方的用于实现所述工件在Z轴方向上的定位的喷嘴单元。
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