[实用新型]键合焊盘和检测电极所形成的生物传感器芯片

摘要

本实用新型涉及一种生物传感器芯片。键合焊盘和检测电极所形成的生物传感器芯片，所述的键合绝缘性基板上设有一对焊盘搁置片，所述的焊盘搁置片内嵌入有键合焊盘，所述的键合焊盘两端各连通有阴极微流管、阳极微流管；所述的阴极微流管连通于工作电极；所述的阳极微流管连通于参比电极；所述的键合焊盘覆于电解液囊之上，焊盘搁置片与电解液囊之间设有参比电极涂膜层；所述的键合绝缘性基板与电解液囊之间设有工作电极涂膜层。本实用新型使得能够以不同材料形成键合焊盘和检测电极。对键合焊盘和检测电极均使用单一表面处理操作。通过使用相同的处理，可以避免在已平坦化的表面上进行抗蚀剂构图，并且可以确保键合焊盘和检测电极的清洁度。

主权项

键合焊盘和检测电极所形成的生物传感器芯片，其主要构造有：工作电极（1）、参比电极（2）、键合焊盘（3）、焊盘搁置片（4）、键合绝缘性基板（5）、阴极微流管（6）、阳极微流管（7）、参比电极涂膜层（8）、工作电极涂膜层（9）、电解液囊（10），其特征在于：键合绝缘性基板（5）上设有一对焊盘搁置片（4），所述的焊盘搁置片（4）内嵌入有键合焊盘（3），所述的键合焊盘（3）两端各连通有阴极微流管（6）、阳极微流管（7）；所述的阴极微流管（6）连通于工作电极（1）；所述的阳极微流管（7）连通于参比电极（2）；所述的键合焊盘（3）覆于电解液囊（10）之上，焊盘搁置片（4）与电解液囊（10）之间设有参比电极涂膜层（8）；所述的键合绝缘性基板（5）与电解液囊（10）之间设有工作电极涂膜层（9）。